1.灵敏度。是指“测量系统的示值变化除以相应的被测量值变化所得的商”。灵敏度是反映测量仪器被测量（输入）变化引起仪器示值（输出）变化的程度。
灵敏度不是越高越好，为了方便计数，使示值处于稳定，还需要特意地降低灵敏度。
2.鉴别阈。是指“引起相应示值不可检测到变化的被测量值的最大变化”。它是指当测量仪器或测量系统在某一示值给予一定的被测量值的变化，这种变化缓慢从单方向逐步增加，当这种变化增加到使相应示值检测不到变化的最大值时，此时的被测量变化称为鉴别阈。
3.分辨力。是指“引起相应示值产生可觉察到变化的被测量的最小变化”。
4.测量仪器的稳定性。测量仪器的稳定性是指“测量仪器保持其计量特性随时间恒定的能力”。通常稳定性是指测量仪器的计量特性随时间不变化的能力。
不稳定的因素很多，主要原因是元器件老化、零部件的磨损、以及使用贮存维护工作不仔细等所致。测量仪器的周期检定或校准，就是对其稳定性的一种考核。稳定性也是科学合理地确定检定周期的重要依据之一。
5.仪器漂移。指“由于测量仪器计量特性的变化引起的示值在一段时间内连续或增量变化。”
6.阶跃响应时间。指“测量仪器或测量系统的输入量值在两个规定常量值之间发生突然变化的瞬间，至与相应示值达到其最终稳定值在规定极限内时的瞬间，这两者之间的持续时间”。
7.死区。死区是指“当被测量值双向变化时，相应示值不产生可检测到的变化的区间”。有的测量仪器由于机构零件的摩擦，零部件之间的间隙，弹性材料的变形，或由于被测量滞后等原因，在增大或减少被测量值时，示值没有变化，这个区域被称为死区，相当于不工作区。
